Очищення поверхні мішені виконується, щоб позбутися будь-якого пилу чи бруду, які можуть бути присутніми. Щоб очистити металеві мішені, можна виконати чотири кроки:
Очищення спочатку виконується м’якою тканиною без ворсу, змоченою в ацетоні;
Для чищення спиртом друга процедура аналогічна першій;
Очищення деіонізованою водою є третім кроком. Мішень слід висушити в духовці протягом 30 хвилин при 100 градусах Цельсія після очищення деіонізованою водою. Для очищення оксидних і керамічних мішеней рекомендується використовувати «безворсову тканину».
Мішень продувається аргоном під високим тиском і низькою вологістю на четвертому етапі, щоб позбутися будь-яких домішок, які можуть призвести до виникнення дуги в системі розпилення.
Будь ласка, переконайтеся, що ваші руки чисті та без ворсу перед використанням цільового матеріалу. Ніколи не кладіть руки безпосередньо на цільову речовину.
Бризки, накопичені в центрі та з обох боків доріжки розпилення, необхідно поступово видаляти, щоб запобігти короткому замиканню та дузі, спричиненій брудною порожниною під час процесу розпилення. Це також дозволяє користувачеві безперервно працювати з максимальною щільністю потужності. Розпилення.
