Я вважаю, що кожен має певні знання про цілі покриття. Він проходить через систему покриттів. Тепер ми розуміємо мішені з твердим покриттям. Фінальний етап підсумовує для всіх редактор.
Розробка композиції мішені, трансформація кристалічної структури мішені, підготовка мішені, удосконалення процесу та оптимізація поведінки розпилення мішені є чотирма ключовими областями, що представляють інтерес для дослідження мішеней для твердих покриттів. Сьогодні ми зосередимося на оптимізації поведінки мішені при напиленні, завершальний етап процесу нанесення твердого покриття.
Залучення мішені до процесу нанесення покриття має бути єдиним центром дослідження мішені. Мішень знаходиться у вакуумній камері протягом усього процесу підготовки покриття з дуже складним станом плазми, що спричиняє ерозію металу мішені. Плазма впливає на траєкторію атома. Щоб підтримувати мішень у стабільному та хорошому стані під час будівництва, дуже важливо оптимізувати процес нанесення покриття. Швидкість ерозії мішені та втрати атомів, що розпилюються, під час руху атома, що розпилюється на підкладку під час процесу магнетронного розпилення мішені зі сплаву.
Щільність іонного струму та мішень для вибуху найбільше впливають на продуктивність розпилення мішені. Втрата на кут і втрата на розсіювання є двома основними типами енергії іонів, втратою атомів розпилення. Щільність і енергію частинок, які атакують мішень, можна змінити шляхом зміни струму мішені. Отруєння мішені можна зробити більш ефективним шляхом регулювання парціального тиску азоту. Швидкість, з якою атоми металу рухаються до підкладки, можна ефективно контролювати шляхом регулювання зміщення підкладки. Щоб отримати покриття вищої якості, цільовий матеріал можна зробити так, щоб він краще відповідав навколишньому середовищу вакуумної камери для нанесення покриття, регулюючи параметри процесу.
Ми можемо виграти від того факту, що швидке зростання електронної промисловості спричинило значний прогрес у ряді суміжних підприємств. Науково-технічний прогрес рухає час. Об’єктиви з твердим покриттям є одними з головних переможців разом із нами.
