Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. спеціалізується на дослідженні та виробництвітанталові мішені для розпиленнята матеріали для вакуумного покриття. Оскільки тантал має здатність утворювати оксидні плівки і має захисну дію, танталові мішені широко застосовуються як підкладки для виготовлення електролітичних конденсаторів. Цього разу було представлено застосування танталових мішеней для розпилення в області мікроелектроніки.
Танталові мішені для термічних струменевих друкуючих головок
Термічні струменеві друкуючі головки можна використовувати для виготовлення тонкоплівкових інтегральних схем, що полегшує використання танталових мішеней. У процесі виробництва інтегральних схем тонкоплівкові резистори використовуються для швидкого нагрівання шару плівки чорнила з щільністю енергії, близькою до 1,28E9 ват/м2, так що деякі надзвичайно дрібні чорнила випаровуються, утворюючи протяжні бульбашки, які насправді є маленькими. вилітають краплі чорнила. . Оскільки високотемпературні чорнила можуть викликати кавітацію в деяких струменевих друкарських устаткуваннях, використання танталових антикавітаційних плівок може захистити чорнильні установки.
Танталові мішені для міднення
Тонкі плівки танталу мають очевидні переваги в процесі виробництва інтегральних схем. Одним із головних досягнень у використанні танталових мішеней для розпилення є застосування мідного покриття. Фоторезистні маски та методи плазмового травлення не можна використовувати для формування міді, оскільки мідь знаходиться в умовах низькотемпературного плазмового травлення. Потрібні летючі компоненти не утворюються. Загалом, висока провідність мідних матеріалів вимагає, щоб бар’єрна плівка повністю ізолювала мідь. Однак, якщо бар’єрна плівка занадто товста, переваги високої провідності мідних з’єднань втрачаються. Таким чином, важливо, щоб осадження бар’єрної плівки в схемі міднення мало гарне східчасте покриття та зменшило виступи на порожнечах переходів/канавок. Замінюючи мідні мікросхеми 0.10um, бар’єрні плівки PVD з танталу та оксиду азоту демонструють деякі унікальні переваги, такі як хороша дифузія міді та хороша адгезія до електролітів і міді.
The99,98% танталових мішенейвиробництва Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd., часто використовуються як нагрівальні деталі, теплоізоляційні деталі та завантажувальні контейнери для вакуумних доменних печей. Вироблені нашою компанією танталові мішені не можна використовувати як підкладки в хімічній промисловості. , аерокосмічна промисловість, медичне обладнання та інші галузі.
