1. Виріжте злиток ванадію необхідної чистоти відповідно до цільового розміру за допомогою горизонтальної пиляльної машини, попередньо нагрійте до 450-500 градусів, потім викуйте та контролюйте загальну швидкість деформації кування до 70-80%;
2. Відпалити кований ванадієвий злиток при температурі 400-500 градусів і час витримки 60-120 хв, а потім охолодити його повітряним охолодженням;
3. Розкачайте відпалений ванадієвий злиток і контролюйте ступінь пресування кожного проходу до 0.5-1 мм і контролюйте загальну деформацію до 70-80%, доки ванадієва цільова заготовка виходить необхідний діаметр і товщина;
4. Знову відпаліть заготовку ванадієвої мішені за температури 450-550 градусів і часу витримки 90-150 хв. Після повторного відпалу охолодіть його водою, щоб отримати необхідну заготовку мішені з ванадію високої чистоти.
Підготовлена таким чином заготовка ванадієвої мішені не тільки має однорідну внутрішню структуру, але також має перевагу дрібного зерна.
Цільовий матеріал повинен мати високу чистоту, менше домішок, однорідний хімічний склад, відсутність сегрегації, пор, однорідну зернисту структуру та розмір зерна від мікрометра до міліметра. Різниця розміру зерна в одній мішені для розпилення повинна бути якомога меншою. Таким чином, непросто створити явище розряду при магнетронному розпиленні, а плівка магнетронного розпилення є однорідною.
Застосування ванадієвої мішені
Використовується в галузі сонячної енергетики, плоских дисплеїв, електроніки та напівпровідників, таких як інтегральні схеми, металізація задньої плати, оптоелектроніка та інші програми.
