Які бувають цільові матеріали - Частина перша

Які цільові матеріали?

Ціль насправді є широким поняттям. Існує три способи класифікації цільових матеріалів:

1. За зовнішніми розмірами його можна розділити на циліндричні, прямокутні, квадратні пластинчасті мішені та трубчасті мішені. Відповідно до матеріалу цільові матеріали можна розділити на металеві мішені, полімерно-керамічні неметалічні мішені та сплавні мішені тощо;

2. Відповідно до матеріалу цільові матеріали можна розділити на звичайні металеві мішені, мішені з дорогоцінних металів, мішені з рідкоземельних металів, неметалічні мішені, мішені для напилення зі сплавів, мішені для напилення з кераміки тощо;

3. За сферою застосування його можна розділити на мішені для напівпровідників, мішені для панелей відображення, мішені для сонячних елементів, мішені для магнітного запису тощо.

Класифікація за формою мішені

Звичайними цілями є переважно квадратні та круглі мішені, які є суцільними мішенями. Під час операції нанесення покриття магнітне поле, створене круговим постійним магнітом на поверхні мішені, є кільцевим, буде відбуватися нерівномірна ерозія, рівномірність товщини напиленої плівки є поганою, а ефективність використання мішені становить лише близько 20 % до 30 %. Порожниста трубчаста мішень, яка наразі просувається, може обертатися навколо фіксованого стрижневого магнітного вузла протягом певного періоду часу, а поверхня мішені на 360 градусів може бути рівномірно витравлена, що має очевидні переваги та підвищує коефіцієнт використання до 80%.

Класифікація за цільовим матеріалом

Звичайні металеві мішені: