Зі швидким розвитком напівпровідникових технологій попит на тантал, який використовується як напилена плівка, поступово зростає. В інтегральних схемах тантал діє як дифузійний бар'єр. між сухим кремнієм і корпусом лідера. Методами виробництва мішеней для напилення є металургія зливків (L/M) і порошкова металургія (P/M). Зазвичай мішені виготовляють із злитків молібдену, але в деяких особливих випадках, наприклад, мішені зі сплаву срібла та кремнію, метод L/M не можна використовувати через різні точки плавлення танталу та кремнію та низьку в’язкість сполук кремнію. В якості мішені може використовуватися тільки порошкова металургія.
Продуктивність мішені безпосередньо впливає на продуктивність напиленої плівки. Речовини, які забруднюють напівпровідниковий прилад, не повинні бути присутніми в утворенні плівки. Під час формування металевої плівки розпилення, якщо в танталовій мішені є домішки, домішки будуть введені в камеру розпилення танталу, спричиняючи прикріплення грубих частинок до підкладки мішені та виводячи з ладу тонкоплівковий контур. У той же час домішки також можуть спричинити збільшення виступаючих частинок у тонкій плівці. Зокрема, домішки, такі як газоподібний кисень, вуглець, водень, азот тощо, присутні в мішені, є більш шкідливими, оскільки вони викликають ненормальний розряд, викликаючи проблеми з однорідністю утвореної плівки. Крім того, для методів порошкової металургії однорідність нанесеної плівки є функцією розміру зерна в мішені, причому дрібніші зерна в мішені призводять до більш однорідної плівки. Тому пред'являються високі вимоги до якості танталового порошку і танталових мішеней.
Щоб отримати високоякісний срібний порошок і танталові мішені, спочатку слід зменшити вміст домішок у молібденовому порошку, а також підвищити чистоту танталового порошку. Як ми всі знаємо, продуктивність танталового матеріалу є відносно стабільною, але порошок танталу з відносно дрібним розміром частинок дуже активний. Навіть при звичайних температурах він легко реагує з киснем і азотом, що значно збільшить вміст домішок, таких як кисень і азот, у порошку танталу. покращити. Хоча чистота деяких металевих виробів із танталу, таких як комерційні злитки танталу, може досягати 99,995 відсотка або навіть вище, чим дрібніший порошок танталу, тим вища відповідна активність, а також підвищується здатність адсорбувати кисень, азот, водень і вуглець. Підвищення чистоти танталового порошку вище 99,99 відсотків завжди вважалося досить складним і важкодосяжним. Вважається навіть, що важко далі знизити вміст будь-якої з шкідливих домішок кисню, вуглецю, водню та азоту, а ще важче знизити вміст цих чотирьох шкідливих домішок одночасно. Однак зменшення розміру частинок танталового порошку дуже необхідно для покращення якості танталового порошку та танталових мішеней. Цільове поле сподівається отримати танталовий порошок високої чистоти із середнім розміром частинок D<25>
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. може виробляти різні види виробів з танталу, наприкладвисокочисті танталові мішені, розпилення танталових мішеней і танталових мішеней для напівпровідників. Відповідні закупівельні потреби, ви можете зв'язатися з нашим персоналом компанії в будь-який час.
