Речовина-мішень пропонує широкий спектр застосувань, широке вікно розвитку ринку та чудове застосування в багатьох сферах. Більшість сучасних пристроїв для розпилення використовують сильні магніти для руху електронів у спіральному візерунку з метою прискорення іонізації газу аргону. навколо мішені, що підвищує ймовірність того, що мішень зіткнеться з іонами аргону, і прискорює швидкість розпилення. Загалом напилення постійним струмом використовується здебільшого для металевих покриттів, тоді як напилення радіочастотним змінним струмом використовується для непровідних керамічних матеріалів. Основна ідея полягає в тому, щоб впливати іонами аргону на поверхню мішені за допомогою тліючого розряду у вакуумі, а катіони в плазмі прискорять вплив. Це зіткнення призведе до того, що цільовий матеріал вилетить і осідає на підкладці, утворюючи тонкий шар. Цільовий матеріал зробить це з негативною поверхнею речовини, яку потрібно розпилити.
Для плівкового покриття за допомогою техніки напилення, як правило, існує кілька моментів:
(1) Тонкоплівкові матеріали можуть бути створені з металу, сплавів або бахроми.
(2) За відповідних умов налаштування тонку плівку однакового складу можна виготовити з кількох складних мішеней.
(3) Цільовий матеріал і молекули газу можна змішувати або змішувати шляхом додавання кисню або інших активних газів до атмосфери розряду.
(4) Високоточну товщину плівки можна легко отримати, контролюючи цільовий вхідний струм і час напилення.
(5) Він більше підходить для створення однорідних плівок великої площі порівняно з іншими методами.
(6) Положення мішені та підкладки можна конфігурувати довільно, і на розпилювані частинки по суті не впливає сила тяжіння.
