Мішені для розпилення з молібденового (10%) ніобієвого сплаву мають широкі перспективи застосування в тонкоплівкових сонячних елементах і дисплеях. Однак завдяки поглинанню кисню ніобієвим порошком під час спікання спечена молібден-ніобієва заготовка має високий вміст кисню та низьку щільність. Цього разу ніобієвий порошок з ніобієвим вуглецевим покриттям був виготовлений шляхом хімічної реакції парів в атмосфері CH4.
Вуглецевий шар ніобію не тільки допомагає запобігти поглинанню кисню, але також може повністю витрачатися при реакції з киснем при необхідній температурі.
Було вивчено вплив способу приготування, реакційного середовища та параметрів реакції на продуктивність ніобієвого вуглецевого шару та визначено оптимальні умови процесу: температура 600 градусів, час реакції 270 хвилин і тиск газу 0,04 мпа .
Морфологія поверхні, хімічний склад, розподіл і однорідність покриття були охарактеризовані за допомогою скануючої електронної мікроскопії, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, електронного зондового мікроаналізу, раманівської спектроскопії та атомно-силової мікроскопії.
Вміст кисню та вуглецю визначали аналізаторами ONH та CS. Порошок ніобію з модифікованою поверхнею змішували з порошком молібдену та спекали у вакуумі, щоб отримати заготовку Mo-10%Nb із вмістом кисню 190 ppm, вмістом вуглецю 290 ppm і відносною густиною 93%.
Використання ніобієвих мішеней
Ніобієві мішені для напилення, як ключовий компонент плівок ніобію та його сплаву, широко використовуються в корозійно-стійких середовищах, таких як сонячні елементи, кольорові TFT РК-екрани, оптичні лінзи, електронні зображення, зберігання інформації, скляні покриття, а також транспортування, хімічне виробництво та ін.
Сьогодні ніобієві мішені для розпилення в основному використовуються для покриття поверхонь сучасних сенсорних екранів, плоских дисплеїв і енергозберігаючого скла. Має антибліковий ефект на скляних екранах.
Ніобієві мішені високої чистоти доступні в різних формах, ступенях чистоти, розмірах і цінах. Будь ласка, зверніться до нас для отримання деталей!
