1. Використання магнетрона для розпилення
Існує три типи магнетронного розпилення: радіочастотне, проміжної частоти та напилення постійного струму.
A. Щільність плівки осадження низька, а джерело живлення розпилення постійного струму недороге. Як правило, домашні фототермічні та тонкоплівкові батареї вирішують використовувати цю техніку, оскільки вона вимагає мало енергії та використовує провідний метал як мішень для розпилення.
B. Енергія радіочастотного розпилення досить висока. Як мішень для розпилення можна використовувати провідну або непровідну мішень.
C. Металева або керамічна мішень може бути використана як мішень для розпилення середньої частоти.
2. Класифікація та використання мішеней для розпилення
Мішені для розпилення бувають різних форм і розмірів, і не всі вони класифікуються однаково. Їх можна класифікувати на довгі мішені, квадратні мішені та круглі мішені на основі форми, а також на металеві мішені, мішені зі сплаву та мішені з керамічних сполук на основі складу. Його можна розділити на керамічні мішені, пов’язані з напівпровідниками, керамічні мішені для носіїв запису, керамічні мішені для дисплеїв тощо на основі різних областей застосування. Електроніка та інформаційні сектори, включаючи зберігання інформації, є основними користувачами мішеней для розпилення. Жорсткі диски, магнітні головки, оптичні диски та інші відповідні тонкоплівкові продукти створюються в цьому бізнесі за допомогою мішеней для розпилення.
На даний момент ринок керамічних мішеней для запису середніх розмірів спостерігає зростання попиту через постійне зростання інформаційної індустрії, а дослідження та розробки середніх мішеней для запису приділяють велику увагу ЗМІ.





