Найбільші фабрики з напилення мішеней у світі зараз виробляють мішені з алюмінієвого сплаву за допомогою двох окремих процесів. відповідно до визнаних методів лиття та кування, додавання легуючих матеріалів під час виробництва мішеней для розпилення з алюмінієвого сплаву часто призводить до сегрегації мішеней, що, у свою чергу, знижує якість плівок для розпилення та ймовірне утворення мікрочастинок. на поверхні мішені для розпилення, що також змінить рівномірність розподілу характеристик плівки.
Хоча пов’язаних проблем, перелічених вище, можна уникнути, якщо мішень для розпилення з алюмінієвого сплаву виготовляється за допомогою відомого процесу формування розпиленням, вона все одно буде створювати мішень для розпилення. Вартість виробництва значно підвищується, особливо при виготовленні деяких мішеней для напилення, які важко підробити та потребують використання гарячого вирівнювання.
Ця технологія використовує порошок газового розпилення для створення мішеней для розпилення з алюмінієвого сплаву, що робить виробництво мішеней із титано-алюмінієвого сплаву простішим і дешевшим. Порошок сплаву просівають у порівнянні з порошком сировини мішені для розпилення, щоб отримати потрібний розмір частинок порошку, а потім порошок піддають гарячому пресуванню у вакуумі для створення мішені для розпилення з алюмінієвого сплаву. Створення різних мішеней для розпилення з алюмінієвого сплаву (алюмінієві хром, алюміній-кремній-мідь, алюміній-титан і т.д.) можна здійснити за допомогою цього методу виготовлення мішеней для розпилення з алюмінієвого сплаву з повітряним розпиленням порошку.
Рекомендована процедура впровадження полягає в тому, щоб спочатку забезпечити металеву сировину для виготовлення мішеней для розпилення з алюмінієвого сплаву та розплавити їх у розплавлений метал; потім з розплавленого металу методом газового розпилення виготовляють металеві порошки; і, нарешті, нагрійте металеві порошки за допомогою вакууму. формується в алюмінієвий сплав, який буде розпилюватися та проходити через інертний газ як захисний газ. Цей процес може виробляти високоякісні мішені для розпилення швидше та дешевше, уникаючи недоліків сегрегації матеріалу та мікрочастинок.
