Планарна ніобієва мішень

Мішені для розпилення вимагають однорідного складу, відповідного розміру частинок і конкретної кристалографічної орієнтації, і високі вимоги до цих мішеней для розпилення спрямовані на досягнення рівномірної швидкості осадження плівки на всій підкладці. Ніобієві мішені в основному використовуються в поверхневих інженерних матеріалах, таких як морські, хімічні та рідкокристалічні дисплеї, а також для нанесення покриттів, таких як термостійкість, стійкість до корозії та висока провідність. Плоска ніобієва мішень — це ніобієва мішень діаметром більше або дорівнює 150 мм, яку зазвичай називають голою мішенню, і користувач спочатку зварює її з мідною або алюмінієвою задньою мішенню, а потім розпилює, щоб осадити атоми ніобію. на матеріал підкладки для досягнення напилення покриття. Щоб досягти рівномірності покриття, плоска ніобієва мішень повинна подрібнити кристали ніобієвого зливка, щоб переконатися, що внутрішня структура ніобієвої мішені повністю перекристалізована, розмір зерна менший за 100 μπι і однорідний.

Наша компанія пропонує новий метод підготовки, що включає наступні етапи: ніобієві злитки куються радіально та прямокутно подовжені, ковані ніобієві злитки травляться, а травлені ніобієві злитки термічно обробляються; Потім ніобієві злитки розплющують і кують, ковані ніобієві злитки травлять, а травлені ніобієві злитки піддають термічній обробці; Нарешті, ніобієві злитки прокатують для отримання плоскої ніобієвої мішені.

У процесі підготовки ніобієвої мішені процес кування є комбінацією радіального прямокутного, осьового подовження та сплющення, так що стовпчаста кристалічна область у зливку ніобію, центральна рівновісна кристалічна область та околиці краю ніобієвий злиток, потік металу в центральній частині заготовки збільшується, нерівномірність центральної структури значно покращується, а вихідна лита груба кристалічна структура повністю розбивається в кількох напрямках під дією різноспрямованої сили, тим самим сприяючи ніобієвому зливку для отримання відносно однорідної структури зерна. Це дозволяє уникнути присутності шкідливих тканин, таких як тканина "кристалічної смуги" та груба кристалічна тканина, залишена центральною частиною без ефективної фрагментації; На стадії прокатки деформація ніобієвих злитків є більш рівномірною, а після обробки з проміжним процесом термічної обробки структура матеріалу ніобієвої мішені стає все більш однорідною та витонченою, і, нарешті, рівновісна кристалічна структура, плоска ніобієва мішень з однорідною структурою та розміром зерен менше 100 мкм. Таким чином, рівновісна кристалічна структура з однорідною тканиною та розміром зерна менше ніж 100 μπι була отримана за допомогою цього методу отримання.

Популярні Мітки: планарна ніобієва мішень, постачальники, виробники, фабрика, на замовлення, купити, ціна, ціна, якість, продаж, в наявності