Мішені з оксиду ніобію

В даний час для приготування мішеней з оксиду ніобію в основному використовується процес спікання гарячого пресування, але недоліки поганої компактності та провідності, як правило, підготовлені, що важко задовольнити вимоги магнетронного напилення постійного струму для матеріалів мішеней. Крім того, процес спікання гарячого пресування має тривалий час спікання, високе споживання енергії та високу вартість. Виходячи з цього, необхідно забезпечити мішень з оксиду нініобію з низьким енергоспоживанням, низькою вартістю, хорошою компактністю та електропровідністю та спосіб її виготовлення.

Включаються такі кроки:

Порошок пентоксиду ніобію та порошок ніобію рівномірно змішували та прожарювали при 600~800 градусах протягом 0,5~3 годин в атмосфері кисню або повітря для отримання попередньо обробленого порошку;

Порошок спікають у графітовій формі при 900~1200 градусів в атмосфері захисного газу протягом 0,5~1 години для отримання мішені з оксиду ніобію.

Спосіб приготування вищевказаних мішеней з оксиду ніобію, після рівномірного змішування порошку п’ятиокису ніобію та порошку ніобію, проведення обробки окислювальним кальцинуванням, і поверхня порошку ніобію окислюється для утворення плівкового бар’єру з активованого оксиду, так як щоб диспергувати порошок п’ятиокису ніобію, уникайте явища агломерації, викликаного локальним спіканням порошку п’ятиокису ніобію, а отриманий попередньо оброблений порошок не агломерований, не зв’язаний, має хорошу плинність і концентрований розподіл частинок за розміром. Серед них порошок пентаоксиду ніобію має високу питому площу поверхні та високу активність, а його розмір частинок невеликий, що, у свою чергу, знижує температуру спікання гарячого пресування та скорочує час спікання гарячого пресування, тим самим зменшуючи споживання енергії та вартість гарячого пресового спікання, скорочення виробничого циклу та ефективне підвищення ступеня ущільнення мішені з оксиду ніобію, отриманої гарячим пресовим спіканням.

Хімічна формула мішені з оксиду ніобію, отриманої вищезазначеним способом приготування, має Nb2Ox, 4.0 Менше або дорівнює x Менше або дорівнює 4,9, мішень має високу компактність, низьку пористість і плоску поверхню без кісточок, а його щільність досягає 4,57 г/см3. Його провідність висока, а питомий опір становить 2×10-3~8×10-3Ω·см. Серед них відносна щільність відноситься до відношення щільності, виміряної детектором твердої щільності дренажного методу Архімеда, до теоретичної щільності, а величина відносної щільності вказує на ступінь ущільнення матеріалу, і чим більша відносна щільність, тим вище ступінь ущільнення матеріалу.

Популярні Мітки: мішені з оксиду ніобію, постачальники, виробники, фабрика, на замовлення, купити, ціна, ціна, якість, продаж, в наявності