Ta Sputter Target

Процес виробництва металевих танталових розпилювачів Yusheng
Цільові продукти Yusheng Metal для напилення танталу виготовляються зі зливків танталу за допомогою процесів електронного бомбардування ЕВ, прокатки та відпалу. Мішені, виготовлені цим процесом, мають однорідну кристалічну структуру, текстуру та розподіл енергії, а також хорошу внутрішню структуру.

В останні роки масштаби індустрії ІС (інтегральних схем) продовжували розширюватися, і технологія обробки мікросхем також розвивалася в напрямку високої щільності. Через його високу хімічну стабільність тантал часто використовується як матеріал для покриття дифузійним бар’єрним шаром у процесі з’єднання міді. Однорідна мікроструктура танталових мішеней для розпилення безпосередньо впливає на продуктивність розпилення.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). При виготовленні тонких плівок швидкість напилення змінюється в залежності від товщини мішені, що впливає на стабільність процесу напилення.

Принцип розпилення мішені

Тантал часто використовують у виробництві електролітичних конденсаторів завдяки його здатності утворювати тонкі оксиди та захисній природі оксидного шару. Випаровування використовувалося на ранніх стадіях осадження танталу, але оскільки методи фізичного осадження з парової фази, такі як напилення, з’явилися наприкінці 1960-х років як найкращі методи осадження тонких плівок, вони замінили випаровування.

У процесі фізичного осадження з парової фази іонізовані атоми аргону використовують електромагнітну механіку, щоб впливати на мішень, збиваючи металеві атоми мішені, а атоми металевої мішені осідають на підкладці, утворюючи тонку плівку.

танталова мішень для розпилення

танталова ціль

Обладнання для виробництва металу Yusheng

Yusheng Metal має повний набір наукових досліджень, виробництва, випробувань, продажів і систем обслуговування від плавки, кування, гарячої прокатки, холодної прокатки, обробки до готових матеріалів. Він має електронну східну піч для бомбардування потужністю 350 кВт, гідравлічний прес потужністю 2000 т, піч для вакуумного відпалу діаметром 1700 мм, одну машину для точного кування потужністю 42 кВт і дві потужністю 15 кВт, 14 фінішних смугових станів, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, дворядний трубопрокатний стан LDD-8, 2-валковий стан 500T, 4 стани холодної прокатки, 6 станів холодної прокатки Машина, двостороння машина для волочіння дроту потужністю 15 кВт, циліндрична шліфувальна машина, машина для лущення, поверхнева шліфувальна машина та серія обладнання.

Застосування танталової мішені для розпилення

Матеріал мішені для танталового напилення виготовляється з листів танталу, оброблених під тиском, і має такі характеристики, як висока чистота, дрібне зерно, хороша структура рекристалізації та хороша тривісна консистенція.
Танталові мішені для розпилення широко використовуються в оптоелектронній та напівпровідниковій промисловості. Вони в основному використовуються для напилення покриттів катодного напилення, активних матеріалів високого вакууму, оптичних волокон, напівпровідникових пластин, інтегральних схем тощо. Вони є важливою частиною технології тонких плівок.

 

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.є світовим постачальником деталей для обробки рідкісного золота з танталу, ніобію, ванадію, цирконію та гафнію. В основному він виробляє дроти, стрижні, пластини, трубки, кільця, тиглі тощо та інші нестандартні деталі спеціальної обробки. Ми будемо регулярно публікувати інформацію, пов’язану з продуктами та матеріалами нашої компанії, що охоплює весь ланцюжок досліджень і розробок технології матеріалів, індустріалізацію матеріальних досягнень, застосування та просування матеріальних продуктів, агломерацію промисловості матеріалів та екологію промисловості матеріалів. Ви можете зв'язатися з нами в будь-який час.

 

 

Зв'яжіться з нами

Менеджер з продажу:

Контактна особа: Лі Фенву

Email: kd@tantalumysjs.com

Тел.: 13379388917

Факс: 0917-3139100

Поштовий індекс: 721013

Інтернет:https://www.tantalumysjs.com/

Додати: промислова зона села Веньцюань, зона розвитку Гаосін, місто Баоцзі, провінція Шеньсі, Китай

 

 

 

Популярні Мітки: ta sputter target, постачальники, виробники, фабрика, індивідуальні, купити, ціна, цитата, якість, для продажу, в наявності